AOI视觉检测设备

  ZX900 AOI视觉检测设备

•  一款多角度自动AOI系统检测设备。适用于：半导体先进封装工艺的产品视觉检测设备。

• 检测能力：残胶、RDL短/断路、Bump变形受损；PI变色、各类金属残留、渗镀、来料异常、晶圆

  表面划伤外来物识别等。

•  表面检测图形晶圆表面检测(AOI) ；检测亚微米量级的二维图形缺陷。

• 支持晶圆尺寸：兼容200mm/300mm（支持±2.5mm翘曲片）

• 分辨率0.45um – 9um。