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半导体AOI视觉检测设备

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AOI视觉检测设备

查看:195

时间:2015-12-14

设备型号:ZX900

适用芯片:CIS、WLCSP、TSV...


  ZX900 AOI视觉检测设备


•  一款多角度自动AOI系统检测设备。适用于:半导体先进封装工艺的产品视觉检测设备。

检测能力:残胶、RDL/断路、Bump变形受损;PI变色、各类金属残留、渗镀、来料异常、晶圆

  表面划伤外来物识别等。

•  表面检测图形晶圆表面检测(AOI)检测亚微米量级的二维图形缺陷。

支持晶圆尺寸:兼容200mm/300mm(支持±2.5mm翘曲片)

分辨率0.45um – 9um。




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